Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium PDF
Emmanuel DefaÿCe livre est dédié à lintégration des matériaux diélectriques ferroélectriques dans la technologie silicium. Il sagit principalement de matériaux issus de la famille des matériaux pérovskites qui présentent des propriétés électriques remarquables : permittivité diélectrique très élevée, effet mémoire (ferroélectricité), piézoélectricité, électrostriction. Bien que ces matériaux soient bien maitrisés à létat de céramique, les couches minces et notamment celles sur le silicium, le sont beaucoup moins. Ces dix dernières années ont vu une progression technologique sans précédent quant à lintégration de ces matériaux diélectriques sur le silicium et notamment pour les microsystèmes. Cet ouvrage est ainsi dédié à la description de ces matériaux à travers un traitement thermodynamique particulièrement développé pour le cas des couches minces, les technologies mises en jeu pour arriver à les synthétiser, les caractérisations spécifiques utilisées et finalement, la description de plusieurs réalisations technologies abouties.
Les matériaux ferroélectriques de structure pérovskite occupent une large place dans la palette des oxydes piézoélectriques. Ils ont pour formule générale ABO 3.On les représente par un empilement d'octaèdres liés par leurs sommets. Les anions oxygène forment les sommets des octaèdres tandis que les cations B et A occupent respectivement leur centre et les sites entre les octaèdres.
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Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium. Auteur : Emmanuel DEFAY | Editeur : HERMES_-_LAVOISIER Collection : Traité EGEM Série Electronique et microélectronique | Année : 06/2011. Ce livre est dédié à l'intégration des matériaux diélectriques ferroélectriques dans la technologie silicium. Il s'agit principalement de matériaux issus de la famille des matériaux
Piézoélectricité — Wikipédia La piézoélectricité (du grec πιέζειν, piézein, presser, appuyer) est la propriété que possèdent certains matériaux de se polariser électriquement sous l’action d’une contrainte mécanique et réciproquement de se déformer lorsqu’on leur applique un champ électrique.Les deux effets sont indissociables. Le premier est appelé effet piézoélectrique direct ; le second
Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium. Auteur : Emmanuel DEFAY | Editeur : HERMES_-_LAVOISIER Collection : Traité EGEM Série Electronique et microélectronique | Année : 06/2011. Ce livre est dédié à l'intégration des matériaux diélectriques ferroélectriques dans la technologie silicium. Il s'agit principalement de matériaux issus de la famille des matériaux
La constante diélectrique d'un ferroélectrique est généralement beaucoup plus ... que plus on peut produire à la fois à partir d'une seule plaquette de silicium. ... ne sont pas couramment utilisés dans le CMOS fabrication de circuits intégrés.
Sur la base d’un modèle théorique décrivant le tenseur de susceptibilité électrique du second ordre χ^((2)), un modèle multiphysique a été développé et a permis de décrire de manière très précise à la fois les résultats expérimentaux et la distribution spatiale du χ^((2)) dans des guides d’onde silicium contraints. Ces travaux ont également permis de montrer que les